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本規范用詞說明
1為便于在執行本規范條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1)表示很嚴格，非這樣做不可的用詞正面詞......
附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證
D.1通則D.1.1潔凈室(區)應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。D.1.2潔凈室(......
附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
附錄C精密儀器、設備的容許振動值舉例...
附錄B 電子產品生產間／工序的火災危險性分類舉例
附錄B電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例注：①表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅......
附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求
附錄A各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求...
15、微振控制
15微振控制15.1一般規定15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階......
14、噪音控制
14噪聲控制14.1一般規定14.1.1潔凈廠房的噪聲控制，應滿足電子產品生產的要求，并應保持工作人員具有舒適......
13、防靜電與接地設計
13防靜電與接地設計13.1一般規定13.1.1潔凈廠房應根據生產工藝要求設置防靜電環境。防靜電環境設計應滿足......
12、電氣設計
12電氣設計12.1配電12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國......
12、電氣設計
12電氣設計12.1配電12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國......
11、化學品供應
11化學品供應11.1一般規定11.1.1潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式，應根據產品生產工藝和化學品的品質、......
10、氣體供應
10氣體供應10.1一般規定10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓......
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